A.光刻耗費(fèi)時(shí)間最多B.光刻耗費(fèi)時(shí)間最少C.光刻決定了特征尺寸D.光刻成本最高
A.前烘、后烘、打底膜、堅(jiān)膜B.打底膜、前烘、后烘、堅(jiān)膜C.預(yù)烘、堅(jiān)膜、前烘、后烘D.打底膜、堅(jiān)膜、前烘、后烘
A.針孔少B.對(duì)底層金屬可保形覆蓋C.介電常數(shù)較大D.擴(kuò)散掩蔽能力強(qiáng)