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多項(xiàng)選擇題

?Si₃N₄薄膜的特性有（）。

A.針孔少
B.對(duì)底層金屬可保形覆蓋
C.介電常數(shù)較大
D.擴(kuò)散掩蔽能力強(qiáng)

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多項(xiàng)選擇題

?Si₃N₄薄膜的用途有（）。

A.淺槽隔離的CMP停止層
B.最終鈍化膜和機(jī)械保護(hù)膜
C.MOSFETs中的側(cè)墻
D.選擇性氧化的掩蔽膜

多項(xiàng)選擇題

實(shí)現(xiàn)CVD工藝保形覆蓋的關(guān)鍵因素有（）。

A.表面遷移
B.直接入射
C.再發(fā)射
D.到達(dá)角

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