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問答題

【簡答題】簡述在線參數(shù)測試的原因

答案：（1）鑒別工藝問題：硅片制造過程中工藝問題的早期鑒定
（2）通過/失效標準：決定硅片是否繼續(xù)后面的制造程序

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答案：

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C.刻蝕
D.薄膜
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F.拋光

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答案： 1、氣相外延（VPE）：常用的硅外延方法，屬于CVD范疇
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