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問答題

【簡答題】亞微米CMOS IC制造廠可分為哪六種獨(dú)立的生產(chǎn)區(qū)？

答案：

A.擴(kuò)散（包括氧化、膜淀積和摻雜工藝）
B.光刻
C.刻蝕
D.薄膜
E.離子注入
F.拋光

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答案：（1）離子誘導(dǎo)淀積：指離子被托出等離子體并淀積形成間隙填充的現(xiàn)象
（2）濺射刻蝕：具有一定能量的Ar和因?yàn)楣杵?..