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填空題

曝光后顯影時感光的膠層沒有溶解，沒有感光的膠層溶解，這種膠為（）（正/負）膠。

答案：負

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在LPCVD中，由于hG>>kS，即質(zhì)量轉(zhuǎn)移系數(shù)遠大于表面反應(yīng)速率常數(shù)，所以，LPCVD系統(tǒng)中，淀積過程主要是表面反應(yīng)速率控制

答案：正確

單項選擇題

下面選項屬于主擴散的作用有（）。
1.調(diào)節(jié)表面濃度
2.控制進入硅表面內(nèi)部的雜質(zhì)總量
3.控制結(jié)深

A.1
B.2
C.3
D.1、3