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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個(gè)基本步驟。

答案： 1.分滴，當(dāng)硅片靜止或者旋轉(zhuǎn)得非常緩慢時(shí)，光刻膠被分滴在硅片上
2.旋轉(zhuǎn)鋪開(kāi)，快速加速硅片的旋轉(zhuǎn)到一高的轉(zhuǎn)速使...

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？

答案：

一、將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中，保護(hù)下面的材料

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】例出光刻的8個(gè)步驟，并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。

答案：第一步：氣相成底膜處理，其目的是增強(qiáng)硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步：旋轉(zhuǎn)涂膠，將硅片被固定在載片臺(tái)上，一定數(shù)...