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問答題

【簡答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？

答案：

一、將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中，保護(hù)下面的材料

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【簡答題】例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

答案：第一步：氣相成底膜處理，其目的是增強(qiáng)硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步：旋轉(zhuǎn)涂膠，將硅片被固定在載片臺上，一定數(shù)...

【簡答題】解釋什么是暗場掩模板？

答案：暗場掩膜版是指一個掩膜版，它的石英版上大部分被鉻覆蓋，并且不透光。

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