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問答題
【簡(jiǎn)答題】如何降低溝道效應(yīng)？
答案：
減少溝道效應(yīng)的措施：
（1）對(duì)大的離子，沿溝道軸向（110）偏離7－10o；
（2）用Si，Ge，F(xiàn)...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】與擴(kuò)散源相比，離子注入有哪些優(yōu)點(diǎn)？
答案：
1.可在較低的溫度下，將各種雜質(zhì)摻入到不同的半導(dǎo)體中；
2.能夠精確控制晶圓片內(nèi)雜質(zhì)的濃度分布和注入的深度；<...
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