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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】與擴(kuò)散源相比，離子注入有哪些優(yōu)點(diǎn)？

答案： 1.可在較低的溫度下，將各種雜質(zhì)摻入到不同的半導(dǎo)體中；
2.能夠精確控制晶圓片內(nèi)雜質(zhì)的濃度分布和注入的深度；<...
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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】擴(kuò)散源有哪些存在形態(tài)？
答案：

擴(kuò)散源有氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài)三種有存在形式。
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【簡(jiǎn)答題】熱擴(kuò)散機(jī)制有哪些？
答案：

替位式擴(kuò)散、填隙式擴(kuò)散、填隙—替位式擴(kuò)散
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