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問答題

【簡答題】擴散源有哪些存在形態(tài)？

答案：

擴散源有氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài)三種有存在形式。

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【簡答題】熱擴散機制有哪些？

答案：

替位式擴散、填隙式擴散、填隙—替位式擴散

【簡答題】氧化膜厚度的測定方法？

答案：

雙光干涉法、比色法

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