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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】離子源的目的是什么？最常用的離子源是什么？
答案：
目的：使待注入的物質(zhì)以帶電粒子束的形式存在
最常用的源：Freeman離子源和Bernas離子源
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。
答案：
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（2）引出電極（吸極）和離...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉離子注入工藝和擴(kuò)散工藝相比的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。
答案：
離子注入的優(yōu)點(diǎn)：
（1）精確控制雜質(zhì)含量和分布
（2）很好的雜質(zhì)均勻性
（3）對(duì)雜質(zhì)穿透深...
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（2）很好的雜質(zhì)均勻性
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