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問答題

【簡答題】例舉離子注入工藝和擴(kuò)散工藝相比的優(yōu)點和缺點。

答案：離子注入的優(yōu)點：
（1）精確控制雜質(zhì)含量和分布
（2）很好的雜質(zhì)均勻性
（3）對雜質(zhì)穿透深...

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（1）預(yù)淀積：表面的雜質(zhì)濃度濃度最高，并隨著深度的加大而減小，從而形成梯度。這種...

【簡答題】什么是結(jié)深？

答案：

硅片中p型雜質(zhì)和n型雜質(zhì)相遇的深度被稱為結(jié)深。

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