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問答題

【簡答題】什么是結(jié)深？

答案：

硅片中p型雜質(zhì)和n型雜質(zhì)相遇的深度被稱為結(jié)深。

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【簡答題】敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。

答案：去除氮化硅使用熱磷酸進(jìn)行濕法化學(xué)剝離掉的。這種酸槽一般始終維持在160°C左右并對露出的氧化硅具有所希望的高選擇...

【簡答題】哪種化學(xué)氣體經(jīng)常用來刻蝕多晶硅？描述刻蝕多晶硅的三個(gè)步驟。

答案：多晶硅等離子刻蝕用的化學(xué)氣體通常是氯氣、溴氣或二者混合氣體?？涛g多晶硅的三步工藝：
1.預(yù)刻蝕，用于去除自然氧...

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