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問答題

【簡答題】例舉離子注入設(shè)備的5個主要子系統(tǒng)。

答案： （1）離子源：待注入物質(zhì)必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。注入離子在離子源中產(chǎn)生
（2）引出電極（吸極）和離...
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問答題

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（1）精確控制雜質(zhì)含量和分布
（2）很好的雜質(zhì)均勻性
（3）對雜質(zhì)穿透深...
問答題

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答案： 硅中固態(tài)雜質(zhì)擴散的三個步驟：
（1）預(yù)淀積：表面的雜質(zhì)濃度濃度最高，并隨著深度的加大而減小，從而形成梯度。這種...
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