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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。
答案：
（1）離子源：待注入物質(zhì)必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。注入離子在離子源中產(chǎn)生
（2）引出電極（吸極）和離子...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉離子注入工藝和擴(kuò)散工藝相比的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。
答案：
離子注入的優(yōu)點(diǎn)：
（1）精確控制雜質(zhì)含量和分布
（2）很好的雜質(zhì)均勻性
（3）對(duì)雜質(zhì)穿透深...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并解釋硅中固態(tài)雜質(zhì)擴(kuò)散的三個(gè)步驟。
答案：
硅中固態(tài)雜質(zhì)擴(kuò)散的三個(gè)步驟：
（1）預(yù)淀積：表面的雜質(zhì)濃度濃度最高，并隨著深度的加大而減小，從而形成梯度。這種...
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