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問答題
【簡答題】例舉離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點和缺點。
答案：
離子注入的優(yōu)點：
（1）精確控制雜質含量和分布
（2）很好的雜質均勻性
（3）對雜質穿透深...
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答案：
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（1）預淀積：表面的雜質濃度濃度最高，并隨著深度的加大而減小，從而形成梯度。這種...
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