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問答題
【簡答題】什么是結(jié)深？
答案：
硅片中p型雜質(zhì)和n型雜質(zhì)相遇的深度被稱為結(jié)深。
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問答題
【簡答題】敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
答案：
去除氮化硅使用熱磷酸進(jìn)行濕法化學(xué)剝離掉的。這種酸槽一般始終維持在160℃左右并對(duì)露出的氧化硅具有所希望的高選擇比。用熱磷...
