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問答題

【簡答題】常見的熱氧化生長二氧化硅的方法有哪些？

答案：

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【簡答題】簡述影響氧化速率的因素？

答案： ①氧化方式（干氧、濕氧或水汽氧化、等離子增強(qiáng)氧化）氣氛：摻氯氣氛增加氧化速率。
②氣壓：氧化速率與氧化劑分壓成...

【簡答題】描述熱氧化的基本機(jī)理和兩個階段。

答案：