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問答題

【簡答題】描述熱氧化的基本機理和兩個階段。

答案：

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【簡答題】二氧化硅膜的獲得方法有哪些？

答案：

A.熱氧化工藝
B.化學氣相淀積工藝
C.濺射工藝
D.陽極氧化工藝

【簡答題】簡述硅器件中二氧化硅膜的作用？

答案：

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