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問答題

【簡答題】AA 是哪兩個字的縮寫? 簡單說明 AA 的用途?

答案： Active Area, 即有源區(qū)，是用來建立晶體管主體的位置所在，在其上形成源、漏和柵極。兩個AA區(qū)之間便是以STI來...

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答案： STI: Shallow Trench Isolation(淺溝道隔離)，STI可以當(dāng)做兩個組件（device）間的阻隔...

【簡答題】前段（frontend）的工藝大致可區(qū)分為那些部份？

答案： ①STI的形成（定義AA區(qū)域及器件間的隔離）
②阱區(qū)離子注入（well implant）用以調(diào)整電性...