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問答題

【簡答題】說明金屬CVD的優(yōu)勢和主要用途。

答案： LPCVD可以應(yīng)用于制作金屬薄膜
優(yōu)勢：
①不需要昂貴的高真空泵；
②臺階覆蓋性好；

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【簡答題】金屬化的實(shí)現(xiàn)方法有幾種？請論述真空濺射方法。

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