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問答題

【簡答題】VLSI對金屬化的要求是什么？

答案：

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【簡答題】PECVD的機(jī)理？PECVD有何優(yōu)勢？

答案：

機(jī)理：等離子體由中性原子團(tuán)、游離基、分子、離子、少量高能電子組成。
優(yōu)勢：可以較低溫度下淀積薄膜，常是低溫與低壓結(jié)合

【簡答題】淀積技術(shù)包括哪兩種？

答案： ①根據(jù)壓強(qiáng)分：常壓（AP）和低壓（LP）
②根據(jù)反應(yīng)室壁冷熱分：熱壁和冷壁
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