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【簡答題】如何解決MOS器件中的寄生雙極晶體管效應(yīng)?
答案:
(1)增大基區(qū)寬度:由工藝決定;
(2)使襯底可靠接地或電源。
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答案:
在第二次光刻生成有源區(qū)時(shí),進(jìn)行場氧生長前進(jìn)行場區(qū)離子注入,提高寄生MOSFET的閾值電壓,使其不易開啟;增加場氧生長厚度...
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問答題
【簡答題】消除“Latch-up”效應(yīng)的方法?
答案:
版圖設(shè)計(jì)時(shí):為減小寄生電阻Rs和Rw,版圖設(shè)計(jì)時(shí)采用雙阱工藝、多增加電源和地接觸孔數(shù)目,加粗電源線和地線,對接觸進(jìn)行合理...
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