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【簡答題】如何解決MOS器件的場區(qū)寄生MOSFET效應(yīng)?
答案:
在第二次光刻生成有源區(qū)時,進(jìn)行場氧生長前進(jìn)行場區(qū)離子注入,提高寄生MOSFET的閾值電壓,使其不易開啟;增加場氧生長厚度...
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【簡答題】消除“Latch-up”效應(yīng)的方法?
答案:
版圖設(shè)計(jì)時:為減小寄生電阻Rs和Rw,版圖設(shè)計(jì)時采用雙阱工藝、多增加電源和地接觸孔數(shù)目,加粗電源線和地線,對接觸進(jìn)行合理...
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問答題
【簡答題】什么是MOS晶體管的閂鎖效應(yīng),其對晶體管有什么影響?
答案:
在單阱工藝的MOS器件中(P阱為例),由于NMOS管源與襯底組成PN結(jié),而PMOS管的源與襯底也構(gòu)成一個PN結(jié),兩個PN...
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