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填空題
光學(xué)光刻機(jī)主要有（）等幾種。非光學(xué)光刻機(jī)主要有（）。
答案：
接觸式、接近式、投影式和分步重復(fù)光刻機(jī)；電子束光刻機(jī)和X射線光刻機(jī)
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填空題
快速熱處理設(shè)備（RTP）的主要熱交換機(jī)制是（），常用熱源是（）。RTP的主要優(yōu)點(diǎn)是 （）。
答案：
熱輻射；鎢-鹵燈；時間短可減少雜質(zhì)的再分布、燈光加熱無污染
