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問答題

【簡答題】為濺射做一個簡短的解釋，并描述它的工作方式？濺射適合于合金淀積嗎？濺射淀積的優(yōu)點是什么？

答案：濺射是物理氣相淀積形式之一，是一種薄膜淀積技術(shù)。
工作方式：在濺射過程中，高能粒子撞擊具有高純度的靶材料固體平...

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【簡答題】什么是阻擋層金肩？阻擋層材料的基本特性是什么？哪種金屬常被用做阻擋層金屬？

答案：阻擋金屬層是淀積金屬或金屬塞，用以阻止上下的材料互相混合。
特性：
1.有很好的阻擋擴散特性，結(jié)果分...

【簡答題】列出并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點。

答案：

1.電阻率的減小。
2.減小了功耗。
3.更高的集成密度。
4.良好的抗電遷徙性能。
5.更少的工藝步驟。