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問答題
【簡答題】列出并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。
答案：
1.電阻率的減小。
2.減小了功耗。
3.更高的集成密度。
4.良好的抗電遷徙性能。
5.更少的工藝步驟。
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問答題
【簡答題】描述溝道效應(yīng)。列舉并簡要解釋控制溝道效應(yīng)的三種機(jī)制。
答案：
當(dāng)注入離子未與硅原子碰撞減速，而是穿透了晶格間隙時(shí)，就發(fā)生了溝道效應(yīng)。
三種機(jī)制：
1.傾斜硅片：它...
三種機(jī)制：
1.傾斜硅片：它...
