- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
問答題
【簡(jiǎn)答題】干法刻蝕有高的還是低的選擇比？
答案：
干法刻蝕通常不能提供對(duì)下一層材料足夠高的刻蝕選擇比。
你可能感興趣的試題
問答題
【簡(jiǎn)答題】描述各同向性和各向異性刻蝕剖面，以及在每一種剖面中哪一種是希望的哪一種是不希望的？
答案：
各向同性的刻蝕剖面在所有方向上以相同的刻蝕速率進(jìn)行刻蝕，這將帶來不希望的線寬損失。各向異性的刻蝕剖面即刻蝕只在垂直于硅片...
