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問答題

【簡(jiǎn)答題】描述各同向性和各向異性刻蝕剖面，以及在每一種剖面中哪一種是希望的哪一種是不希望的？

答案：各向同性的刻蝕剖面在所有方向上以相同的刻蝕速率進(jìn)行刻蝕，這將帶來不希望的線寬損失。各向異性的刻蝕剖面即刻蝕只在垂直于硅片...

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【簡(jiǎn)答題】列出按材料分類的三種主要干法刻蝕。

答案：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕

【簡(jiǎn)答題】刻蝕的目的是什么？

答案：目的是為涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形。

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