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問答題

【簡(jiǎn)答題】計(jì)算掃描光刻機(jī)的分辨率，假設(shè)波長(zhǎng)是248nm， NA=0.65， K是0.6。

答案： 0.6*248/0.65=228.9 R=K*入/NA

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【簡(jiǎn)答題】如果光波長(zhǎng)減小分辨率會(huì)有什么變化，如果NA增加了呢？

答案：光波長(zhǎng)減小分辨率提高。

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答案：兩種主要的光反射問題是反射切口和反射駐波，在刻蝕形成的垂直側(cè)墻表面，反射光到不需要曝光的光刻膠中就會(huì)形成反射切口，光刻中...

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