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問答題

【簡答題】如果光波長減小分辨率會(huì)有什么變化，如果NA增加了呢？

答案：光波長減小分辨率提高。

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【簡答題】列出并解釋硅片表面反射引起的最主要的兩個(gè)問題。

答案：兩種主要的光反射問題是反射切口和反射駐波，在刻蝕形成的垂直側(cè)墻表面，反射光到不需要曝光的光刻膠中就會(huì)形成反射切口，光刻中...

【簡答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個(gè)參數(shù)？

答案：

R.K*入/NA
1，波長入
2，數(shù)值孔徑NA
3，工藝因子K

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