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問答題

【簡答題】壓力對氧化物生長的影響是什么？

答案：生長速率隨著壓力增大而增大。高壓強迫使氧原子更快地穿越正在生長的氧化層，這對線性和拋物線速率系數(shù)的增加很重要。這就允許降...

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【簡答題】解釋晶體晶向?qū)ρ趸锷L的影響。

答案：線性氧化物速率依賴于晶向的原因是（111）面的硅原子密度比（100）面的大。因此，在線性階段，（111）硅單晶的氧化速率...

【簡答題】摻雜對氧化物生長的影響是什么？

答案：重摻雜的硅要比輕摻雜的氧化速率快。

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