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問答題
【簡答題】簡述有光刻膠覆蓋硅片的三個生產(chǎn)區(qū)域。
答案：
光刻區(qū)，刻蝕區(qū)和離子注入?yún)^(qū)
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問答題
【簡答題】列出芯片廠中6個不同的生產(chǎn)區(qū)域并對每一個區(qū)域做簡單的描述。
答案：
擴散：擴散區(qū)一般認為是進行高溫工藝及薄膜沉積的區(qū)域。
刻：使用黃色瑩光管照明使得光刻區(qū)與芯片廠中的其他各個區(qū)明...
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問答題
【簡答題】什么是等離子體，為什么要在等離子體中使用RF能量？
答案：
等離子是一種中性，高能量，離子化的氣體，包含中性原子或分子，帶電離子和自由電子。
RF能量的使用可以產(chǎn)生一個高...
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