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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】列出芯片廠(chǎng)中6個(gè)不同的生產(chǎn)區(qū)域并對(duì)每一個(gè)區(qū)域做簡(jiǎn)單的描述。
答案：
擴(kuò)散：擴(kuò)散區(qū)一般認(rèn)為是進(jìn)行高溫工藝及薄膜沉積的區(qū)域。
刻：使用黃色瑩光管照明使得光刻區(qū)與芯片廠(chǎng)中的其他各個(gè)區(qū)明...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是等離子體，為什么要在等離子體中使用RF能量？
答案：
等離子是一種中性，高能量，離子化的氣體，包含中性原子或分子，帶電離子和自由電子。
RF能量的使用可以產(chǎn)生一個(gè)高...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是外延層，為什么在硅片上使用它？
答案：
在某種情況下，需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)的硅表面，還要保持對(duì)雜質(zhì)類(lèi)型和濃度的控制，這要通過(guò)在硅表面沉積一個(gè)外...
