- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】解釋掃描投影光刻機(jī)是怎樣工作的？掃描投影光刻機(jī)努力解決什么問(wèn)題？
答案：
掃描投影光刻機(jī)的概念是利用反射鏡系統(tǒng)把有1：1圖像的整個(gè)掩膜圖形投影到硅片表面，其原理是，紫外光線通過(guò)一個(gè)狹縫聚焦在硅片...
你可能感興趣的試題
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。
答案：
汞燈，高壓汞燈，電流通過(guò)裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個(gè)電弧發(fā)射出一個(gè)特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...
