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問答題

【簡答題】光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個重要參數(shù)是什么？

答案：分辨率和焦深。

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【簡答題】例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。

答案：汞燈，高壓汞燈，電流通過裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個電弧發(fā)射出一個特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...

【簡答題】描述曝光波長和圖像分辨率之間的關(guān)系。

答案：減少曝光光源的波長對提高分辨率非常重要，波長的越小，圖像的分辨率就越高，圖像就越精確。

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