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單項(xiàng)選擇題
在溫度相同的情況下，制備相同厚度的氧化層，分別用干氧，濕氧和水汽氧化，哪個(gè)需要的時(shí)間最長(zhǎng)？（）
A.干氧
B.濕氧
C.水汽氧化
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述電子束曝光的特點(diǎn)
答案：
1）優(yōu)點(diǎn)：分辨率比光學(xué)曝光高；無(wú)需光刻板；曝光自動(dòng)化，加工精度高；在真空中進(jìn)行；可直接觀察曝光的質(zhì)量。
2）缺...
2）缺...
