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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述電子束曝光的特點(diǎn)
答案：
1）優(yōu)點(diǎn)：分辨率比光學(xué)曝光高；無(wú)需光刻板；曝光自動(dòng)化，加工精度高；在真空中進(jìn)行；可直接觀察曝光的質(zhì)量。
2）缺...
2）缺...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】微電子器件對(duì)接觸和互連有什么要求？獲得良好歐姆接觸的方法有哪幾種？
答案：
對(duì)接觸和互連有的基本要求有：
1）能形成良好的歐姆接觸；
2）互連材料具有低的電阻率和良好的穩(wěn)定性；...
1）能形成良好的歐姆接觸；
2）互連材料具有低的電阻率和良好的穩(wěn)定性；...
