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問答題
【簡答題】試說明氧化層在硅工藝中的四種主要用途及主要原因,并舉例說明各種用途的主要目的。
答案:
摻雜阻擋層;器件保護層;表面鈍化層;電學隔離層;器件介質層。
選擇擴散的掩蔽層:選擇擴散從而實現(xiàn)在特定的區(qū)域里...
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問答題
【簡答題】列出氧化硅的五種主要物理參數(shù),并說明實際中如何測試氧化層厚度。
答案:
密度,折射率,電阻率,介電強度,(相對)介電常數(shù)。
實際中可用折射率,介質強度和介電常數(shù)來測量。
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問答題
【簡答題】試說明熱氧化反應為什么發(fā)生在Si—SiO
2
界面上,以及這種反應機制有何好處?
答案:
在無定形SiO
2
的網(wǎng)絡結構中,每個Si原子與四個氧原子形成共價鍵,而每個氧原子最多與兩個Si原子形...
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