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問答題

【簡答題】試說明熱氧化反應為什么發(fā)生在Si—SiO₂界面上，以及這種反應機制有何好處？

答案：在無定形SiO₂的網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)中，每個Si原子與四個氧原子形成共價鍵，而每個氧原子最多與兩個Si原子形...

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【簡答題】氧化工藝產(chǎn)生的SiO₂為何種類型？并說明其結(jié)構(gòu)對其強度和密度的影響。

答案：半導體工藝中用熱氧化法生長的SiO₂是典型的無定形SiO₂。無定形SiO

【簡答題】試說明按結(jié)構(gòu)分類的二氧化硅的基本類型且各舉一例，并說明各種類型的主要結(jié)構(gòu)特點。

答案：按SiO₂的Si-O四面體單元的排列特點將其分為：結(jié)晶形SiO₂和無定形Si...