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問答題

【簡答題】金屬在IC中的作用有哪些？

答案： 1、MOSFET柵電極材料，
2、互連材料－－－將同一芯片內的各個獨立的元器件連接成為具有一定功能的電路模塊，...

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答案：

電阻加熱蒸發(fā)法、電子束蒸發(fā)法、濺射法

【簡答題】IC對金屬材料特性有何要求？

答案： 1、與n＋、p＋硅或多晶硅形成低阻的歐姆接觸（接觸電阻小），利于提高電路速度，
2、抗電遷移性能好，長時間在較...

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