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問答題

【簡答題】與Al布線相比，Cu布線有何優(yōu)點(diǎn)？

答案：

銅作為互連材料，其抗電遷移性能比鋁好，電阻率低，可以減小引線的寬度和厚度，從而減小分布電容。

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【簡答題】什么是低K材料？

答案：

低K材料：介電常數(shù)比SiO2低的介質(zhì)材料

【簡答題】簡述硅單晶研磨清洗的重要性。

答案：硅片清洗的重要性：硅片表面層原子因垂直切片方向的化學(xué)鍵被破壞成為懸掛鍵，形成表面附近的自由力場，極易吸附各種雜質(zhì)，如顆粒...