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問答題

【簡答題】簡述硅單晶研磨清洗的重要性。

答案： 硅片清洗的重要性：硅片表面層原子因垂直切片方向的化學鍵被破壞成為懸掛鍵，形成表面附近的自由力場，極易吸附各種雜質(zhì)，如顆粒...
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問答題

【簡答題】切片可決定晶片的哪四個參數(shù)？
答案：

切片決定了硅片的四個重要參數(shù)：晶向、厚度、斜度、翹度和平行度。
問答題

【簡答題】將硅單晶棒制成硅片的過程包括哪些工藝？
答案：

包括：切斷、滾磨、定晶向、切片、倒角、研磨、腐蝕、拋光、清洗、檢驗。
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