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問答題

【簡(jiǎn)答題】離子注入機(jī)的主要部件以及它們的主要任務(wù)分別是什么？

答案：（1）離子源，離子源的任務(wù)是提供所需的雜質(zhì)離子；
（2）質(zhì)量分析器，對(duì)從離子源出來(lái)的離子進(jìn)行篩選；
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【簡(jiǎn)答題】濕法刻蝕和干法刻蝕的區(qū)別？

答案：濕法刻蝕設(shè)備簡(jiǎn)單、工藝操作方便，一般的常規(guī)生產(chǎn)均能滿足要求，但各向同性刻蝕性太強(qiáng)，難以控制線寬，而且刻蝕劑大多為腐蝕性較...

【簡(jiǎn)答題】常用的CVD哪幾種？說明各自的優(yōu)缺點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域。

答案：（1）常壓化學(xué)氣相淀積，這種工藝所需的系統(tǒng)簡(jiǎn)單，反應(yīng)速度快，并特別適于介質(zhì)淀積，但是它的缺點(diǎn)是均勻性較差，氣體消耗量大，...

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