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問答題

【簡答題】化學氣相淀積薄膜的生長過程是怎樣的？

答案：（1）參加反應的氣體混合物被輸運到沉積區(qū)；
（2）反應物由主氣流擴散到襯底表面；
（3）反應物分鐘吸...

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答案：襯底；P阱的制作；場氧氧化、確定有源區(qū)；生長多晶硅柵；形成PMOS的源、漏區(qū)；形成NMOS的源、漏區(qū)；生長PSG；制作電...

【簡答題】二氧化硅膜在集成電路中有哪些用途？

答案：

掩蔽雜質、作為柵氧化層、表面鈍化和保護、介質隔離、絕緣介質等作用

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