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問答題

【簡答題】為什么NMOS工藝優(yōu)于PMOS工藝？

答案：

N溝道FET的速度將比P溝道FET快2.5倍

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【簡答題】硅柵工藝有哪些優(yōu)點？

答案：

自對準(zhǔn)無需重疊設(shè)計減小了電容提高了速度減小了柵、源、漏極尺寸增加集成度；增加電路可靠性

【簡答題】什么是自對準(zhǔn)技術(shù)？

答案：

將兩次MASK步驟合為一次，讓D，S和G三個區(qū)域一次成形

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