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問答題

【簡(jiǎn)答題】什么是自對(duì)準(zhǔn)技術(shù)？

答案：

將兩次MASK步驟合為一次，讓D，S和G三個(gè)區(qū)域一次成形

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【簡(jiǎn)答題】鋁柵重疊設(shè)計(jì)方法雖然可解決鋁柵MOS工藝的缺點(diǎn)，但還存在哪些缺點(diǎn)？

答案：

CGS、CGD都增大了；柵極增長(zhǎng)，管子尺寸變大，集成度降低。

【簡(jiǎn)答題】鋁柵MOS工藝的缺點(diǎn)是什么？

答案：

制造源、漏極與制造柵極采用兩次掩膜步驟，不容易對(duì)齊

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