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問答題

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答案： ① Killer defect =>對良率有影響
② No...

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②&ens...

【簡答題】簡述Defect的來源？

答案： ① 素材本身：包括wafer，氣體，純水，化學(xué)藥品。
② 外在環(huán)境：包含潔凈室，傳送系統(tǒng)與...

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