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名詞解釋

LPCVD（低壓CVD）

答案：

在27-270Pa壓力下進行化學(xué)氣相淀積。

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APCVD（常壓CVD）

答案：

氣相淀積在1個大氣壓下進行。

化學(xué)氣相淀積

答案：

一種或數(shù)種物質(zhì)的氣體，以某種方式激活后，在襯底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并淀積出所需固體薄膜的生長技術(shù)。

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