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名詞解釋

答案：

一種或數(shù)種物質(zhì)的氣體，以某種方式激活后，在襯底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并淀積出所需固體薄膜的生長(zhǎng)技術(shù)。

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答案：

利用帶有電荷的離子在電場(chǎng)中加速后具有一定動(dòng)能的特點(diǎn)，將離子引向欲被濺射的靶電極。

答案：

在直流穩(wěn)定電場(chǎng)作用下產(chǎn)生的氣體放電現(xiàn)象。